لطفا منتظر بمانید ...
0% Complete
صفحه اصلی
/
سی امین کنفرانس بین المللی مهندسی برق
Design and Simulation of a Novel High Sensitive MEMS Microphone Based On a Spring-Supported Circular Diaphragm
نویسندگان :
Mehdi Pazhooh
1
Ebrahim Abbaspour-Sani
2
1- دانشگاه ارومیه
2- دانشگاه ارومیه
کلمات کلیدی :
Capacitive Microphone،MEMS،Spring-Supported Diaphragm،Microphone Modeling،Lumped-element Equivalent Circuit
چکیده :
In this paper, we presented a novel single-chip MEMS capacitive microphone with a spring-supported circular diaphragm. Surface micromachining and backside etching techniques were used to create a flexible diaphragm and a rigid single-crystal backplate for the capacitive microphone. The structure has a diaphragm with a thickness of 2 µm, a diaphragm radius of 400 µm, and an air gap of 2 µm. The slots are made on the diaphragm to reduce the air damping and improve the sensitivity by reducing the mechanical stiffness of the diaphragm. We designed and optimized the structure parameters using electrostatic-mechanical coupling finite element analysis (FEA). The sensitivity and frequency response of the microphone was investigated using a lumped-element model. The proposed microphone’s sensitivity is -29.5 dBv/Pa under 3 V dc bias. The proper design of the perforated backplate results in a bandwidth of nearly 27 kHz. Considering the acoustic-thermal noise, SNR is predicted to be 61.5 dB.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
ارزیابی کیفیت و موفقیت های پیوند کلیه
علی رفیعی پور - بهزاد خلجی امامزاده عباسی - زینب زالی - مسعودرضا هاشمی
Robust Object Detection Against Adversarial Perturbations with Gabor Filter
Mohammad Parsa Karimi - Abdollah Amirkhani - Shahriar B. Shokouhi
Design and Control of a Novel Multi-port Bidirectional Buck-Boost Converter Suitable for Hybrid Electric Vehicle Charging Stations
Amir Safaeinasab - Homayon Soltani Gohari - Karim Abbaszadeh
Multi-Bit Memory Architecture for In-memory Computing using In-Plane MTJ
Milad Ashtari Gargari - Nima Eslami - Mohammad Hossein Moaiyeri
Design and Determing Two Separate Rotor Axial Flux Permanent Magnet Motor Load and Efficinecy
Siamak Omrani - Ahmad Darabi
کاربرد امواج فراصوت در ترومبولسیس لخته خون به عنوان درمان غیرتهاجمی
مریم بیات - شکراله کریمیان - اسفندیار مهرشاهی
Low-Loss, Low-Drive Voltage, and High-Bandwith Thin-Film Lithium Niobate Modulator Using Coaxial Transmission Line
Mohsen Karimian Kakolaki - Ahmad Bakhtafrouz - Parisa Karimi
طراحی ایستگاه شارژ سریع با در نظر گرفتن عدم قطعیت منابع تجدیدپذیر و مدیریت ریسک
محمد بزرگ‌پور رودباری - میثم جعفری نوکندی - محمد هاشمی مصیر
مدلسازی محدودیت های عملی سیستم های ترکیبی انرژی الکتریکی- حرارتی با استفاده از تبدیلات پیشرفته برنامه‌ریزی ریاضی
ریحانه حسن آبادی - حسین شریف زاده
Integral Sliding-mode H∞ Control for Isothermal CSTR Based on Singular Systems Model with Sector Input Nonlinearity
Hamid Reza Ahmadzadeh - Masoud Shafiee
بیشتر
ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 44.7.2
