کنفرانس مهندسی برق ایران

صفحه اصلی / سی امین کنفرانس بین المللی مهندسی برق

Design and Simulation of a Novel High Sensitive MEMS Microphone Based On a Spring-Supported Circular Diaphragm

نویسندگان :

Mehdi Pazhooh¹ Ebrahim Abbaspour-Sani²

1- دانشگاه ارومیه 2- دانشگاه ارومیه

کلمات کلیدی :

Capacitive Microphone،MEMS،Spring-Supported Diaphragm،Microphone Modeling،Lumped-element Equivalent Circuit

چکیده :

In this paper, we presented a novel single-chip MEMS capacitive microphone with a spring-supported circular diaphragm. Surface micromachining and backside etching techniques were used to create a flexible diaphragm and a rigid single-crystal backplate for the capacitive microphone. The structure has a diaphragm with a thickness of 2 µm, a diaphragm radius of 400 µm, and an air gap of 2 µm. The slots are made on the diaphragm to reduce the air damping and improve the sensitivity by reducing the mechanical stiffness of the diaphragm. We designed and optimized the structure parameters using electrostatic-mechanical coupling finite element analysis (FEA). The sensitivity and frequency response of the microphone was investigated using a lumped-element model. The proposed microphone’s sensitivity is -29.5 dBv/Pa under 3 V dc bias. The proper design of the perforated backplate results in a bandwidth of nearly 27 kHz. Considering the acoustic-thermal noise, SNR is predicted to be 61.5 dB.

لیست مقالات

لیست مقالات بایگانی شده

کنترل دست پروتزی با استفاده از کنترل کننده تطبیقی فازی- PI به کمک سیگنال های EMG

مهسا برفی - حمیدرضا کرمی - سیدمنوچهر حسینی پیلانگرگی

طراحی و شبیه‌سازی یک آرایه انعکاسی پهن باند به کمک روش چرخش قطبش موج بازتابی و سنتز فاز چند فرکانسی روزنه آنتن

مجید کریمی پور - ایمان آریانیان

Enhanced Forward Model for Photoacoustic Imaging with Speed of Sound Compensation

Amirreza Jodeiry - Zahra Kavehvash

Low-power and Low-Phase Noise Gm-Boosted Differential CMOS LC Voltage Controlled Oscillator using Genetic Algorithm

Mohammad Jafar Hemmati - Sepehr Ebrahimi Mood

Community Energy Management Using MARL: Synergy of Price-Based and Incentive-Based Demand Response

Mohammad Hashemnezhad - Hamed Delkhosh - Ahmad Shahabi - Mohsen Parsa Moghaddam

Extended Phase Shift Control in Dual Active Bridge Converter Considering Magnetizing Inductance of Transformer

Masood Soleimanifard - Ali Yazdian Varjani

Improved Homptopy Technique for MIMO signal Detection

Elaheh Ghaderi - Masoumeh Azghani

بازشناسی مقاوم زمانی – مکانی انسان در یک سیستم نظارتی بر اساس شبکه GAN

آزاده سادات موسوی - شهریار برادران شکوهی

ردیابی اهداف کوچک مادون قرمز مبتنی بر فیلتر کالمن بهینه‌شده با الگوریتم نهنگ و ازدحام ذرات

نازنین بهمن جو - سعید خان‌کلانتری

تعیین آرایش بهینه خطوط جهت کاهش فرسایش یقه پایه های بتنی ناشی از تنشهای باد

میثم پوراحمدی نخلی - حمیدرضا فیروزآبادی

ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 40.4.2