کنفرانس مهندسی برق ایران

صفحه اصلی / سی امین کنفرانس بین المللی مهندسی برق

Design and Simulation of a Novel High Sensitive MEMS Microphone Based On a Spring-Supported Circular Diaphragm

نویسندگان :

Mehdi Pazhooh¹ Ebrahim Abbaspour-Sani²

1- دانشگاه ارومیه 2- دانشگاه ارومیه

کلمات کلیدی :

Capacitive Microphone،MEMS،Spring-Supported Diaphragm،Microphone Modeling،Lumped-element Equivalent Circuit

چکیده :

In this paper, we presented a novel single-chip MEMS capacitive microphone with a spring-supported circular diaphragm. Surface micromachining and backside etching techniques were used to create a flexible diaphragm and a rigid single-crystal backplate for the capacitive microphone. The structure has a diaphragm with a thickness of 2 µm, a diaphragm radius of 400 µm, and an air gap of 2 µm. The slots are made on the diaphragm to reduce the air damping and improve the sensitivity by reducing the mechanical stiffness of the diaphragm. We designed and optimized the structure parameters using electrostatic-mechanical coupling finite element analysis (FEA). The sensitivity and frequency response of the microphone was investigated using a lumped-element model. The proposed microphone’s sensitivity is -29.5 dBv/Pa under 3 V dc bias. The proper design of the perforated backplate results in a bandwidth of nearly 27 kHz. Considering the acoustic-thermal noise, SNR is predicted to be 61.5 dB.

لیست مقالات

لیست مقالات بایگانی شده

Refractive Index Sensor Based on Photonic Crystal Nanocavities

Mohammad Zargarzadeh - Mohammad Hasan Yavari - Mohammad Heydari - Mohammad Hasan Rezaei

Improving Artificial Neural Network Performance Using Hybrid Activation Function

Morteza Taheri - Sajad Haghzad Klidbary

Finite time disturbance observer based output feedback fractional order nonsingular terminal sliding mode attitude control of rigid satellites

Shirko Piri - Jalil Beyramzad - Esmaeel Khanmirza

مدلسازی، تحلیل و شبیه سازی مبدل رزونانسی LC-LC با قابلیت همزمان جریان ثابت و ولتاژ ثابت در خروجی مناسب برای شارژ باتری

کامران داودی

بکارگیری تکنیک کنترل مقاوم جهت طراحی مسیر حرکت خودرو در مانورهای اضطراری ممانعت از برخورد

محمد امین قماشی - رضا کاظمی

Exploring Graph Biomarkers and Connectivity in Epilepsy Through Graph Learning

Ali Khosravipour - Sepideh Hajipour Sardouie

Non-pharmacological interventions for Covid-19 new variants with fractional order fuzzy type-2 PID

Hadi Delavari - Amir Veisi - Maryam Ranjbaran

U-Net-based Automotive Radar Target Detection and Recognition

Jamal Kazazi - Seyyed Mohammad Matin AleMohammad - Mahmoud Kamarei

ساخت حسگر رطوبت مقاومتی با استفاده از نانوذره اکسید گرافن بر پایه الکترودهای شانه ای

ندا قربانی - سمانه حامدی

راهبرد بهینه خرده فروش در شبکه توزیع برق با در نظر گرفتن اثر پاسخ گویی بار

امیرحسین مدبری فر - حبیب رجبی مشهدی

بیشتر

ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 42.5.3