0% Complete
صفحه اصلی
/
سی امین کنفرانس بین المللی مهندسی برق
Design and Simulation of a Novel High Sensitive MEMS Microphone Based On a Spring-Supported Circular Diaphragm
نویسندگان :
Mehdi Pazhooh
1
Ebrahim Abbaspour-Sani
2
1- دانشگاه ارومیه
2- دانشگاه ارومیه
کلمات کلیدی :
Capacitive Microphone،MEMS،Spring-Supported Diaphragm،Microphone Modeling،Lumped-element Equivalent Circuit
چکیده :
In this paper, we presented a novel single-chip MEMS capacitive microphone with a spring-supported circular diaphragm. Surface micromachining and backside etching techniques were used to create a flexible diaphragm and a rigid single-crystal backplate for the capacitive microphone. The structure has a diaphragm with a thickness of 2 µm, a diaphragm radius of 400 µm, and an air gap of 2 µm. The slots are made on the diaphragm to reduce the air damping and improve the sensitivity by reducing the mechanical stiffness of the diaphragm. We designed and optimized the structure parameters using electrostatic-mechanical coupling finite element analysis (FEA). The sensitivity and frequency response of the microphone was investigated using a lumped-element model. The proposed microphone’s sensitivity is -29.5 dBv/Pa under 3 V dc bias. The proper design of the perforated backplate results in a bandwidth of nearly 27 kHz. Considering the acoustic-thermal noise, SNR is predicted to be 61.5 dB.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
A Technical-Managerial Framework for Determining Periodic Performance Indices and Operating Ranges of Power Grid Frequency
Hamed Delkhosh - Hossein Seifi - Sajjad Gholamnejad - Morteza Yousefian
Switched Robust Model Predictive Based Controller for UAV Swarm System
Erfan Nejabat - Amirhossein Nikoofard
Deception Attack Detection and Resilient Control in Platoon of Smart Vehicles
Hassan Mokari - Elnaz Firouzmand - Iman Sharifi - Ali Doustmohammadi
طراحی و پیادهسازی یک ماشین حالت محدود جهت محاسبة تابع مثلثاتی تانژانت معکوس مبتنی بر سری تیلور عقبرونده و با استفاده از دو واحد ضربکنندة DSP48-E بر روی تراشههای FPGA شرکت AMD-XILINX به صورت زمان متغیر
میثم هارونی - پیام سنائی
Sparsity Domain Smoothing Based Thresholding Recovery Method for OFDM Sparse Channel Estimation
Mohammad Hossein Bahonar - Reza Ghaderi Zefreh - Rouhollah Amiri
Active Data Fusion in Deep Neural Networks via Separation Index
Movahed Jamshidi - Ahmad Kalhor - Abdol-Hossein Vahabie
بررسی توان و افزایش بازدهی در فرستنده سوئیچینگ لورن
عادل رضائیان - احمد عفیفی - جمشید ده پهلوانی
Optimal D2D Resource Allocation in Heterogeneous Cellular Networks by Decentralized Multi-Agent Deep Q-Learning
Pouya Akhoundzadeh - Ghasem Mirjalily - Mohammad taghi Sadeghi
Adaptive Smooth Super Twisting Sliding Mode Control for Parkinson's Tremor Treatment
Reyhaneh Valibeik - ّFatemeh Jahangiri - Mostafa Abedi
تحلیل ارتباطات موثر و عملکردی سیگنالهای فیزیولوژیکی راننده جهت بهبود تشخیص حواس پرتی
نیلوفر وثوق - زهرا بهمنی دهکردی - امین محمدیان
بیشتر
ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 43.6.0
