کنفرانس مهندسی برق ایران

صفحه اصلی / سی امین کنفرانس بین المللی مهندسی برق

Design and Simulation of a Novel High Sensitive MEMS Microphone Based On a Spring-Supported Circular Diaphragm

نویسندگان :

Mehdi Pazhooh¹ Ebrahim Abbaspour-Sani²

1- دانشگاه ارومیه 2- دانشگاه ارومیه

کلمات کلیدی :

Capacitive Microphone،MEMS،Spring-Supported Diaphragm،Microphone Modeling،Lumped-element Equivalent Circuit

چکیده :

In this paper, we presented a novel single-chip MEMS capacitive microphone with a spring-supported circular diaphragm. Surface micromachining and backside etching techniques were used to create a flexible diaphragm and a rigid single-crystal backplate for the capacitive microphone. The structure has a diaphragm with a thickness of 2 µm, a diaphragm radius of 400 µm, and an air gap of 2 µm. The slots are made on the diaphragm to reduce the air damping and improve the sensitivity by reducing the mechanical stiffness of the diaphragm. We designed and optimized the structure parameters using electrostatic-mechanical coupling finite element analysis (FEA). The sensitivity and frequency response of the microphone was investigated using a lumped-element model. The proposed microphone’s sensitivity is -29.5 dBv/Pa under 3 V dc bias. The proper design of the perforated backplate results in a bandwidth of nearly 27 kHz. Considering the acoustic-thermal noise, SNR is predicted to be 61.5 dB.

لیست مقالات

لیست مقالات بایگانی شده

Giant Optical Nonreciprocity with Magnetized Epsilon-Near-Zero Materials

Zahra Chamani - Abolghasem Zeidaabadi Nezhad - Mahyar Dehdast - Zaker Hossein Firouzeh

Design of Dual-beam Orthogonal Circular Polarized Leaky-wave Holographic Antenna

Mohammad Amin Chaychizadeh - Nader Komjani

طبقه‌بندی تصاویر سلولی پاپ اسمیر مبتنی بر الگوریتم‌های ترتیبی یادگیری جمعی و شبکه‌های عمیق استخراج ویژگی

زهرا کمالی - محمدصادق هل فروش - کامران کاظمی - مژگان اکبرزاده

Reactive Power Compensation in Distribution Grids: An Application of Trinary Cascaded H-bridge Multilevel Inverter

Yousef Neyshabouri - Mohammad Farhadi-Kangarlu

VGG16-based Feature Fusion For Image Kyepoint Description

Javid Norouzi - Alireza Liaghat - Mohammad Sadegh Helfroush - Habibollah Danyali

A Third-Order Noise-Shaping SAR ADC With Optimized NTF Zeros for IOT Applications

Mansoure Yousefirad - Mohammad Yavari

توسعه نرم‌افزار تخمین عملکرد خطوط انتقال در برابر پدیده صاعقه

سعید شیرمحمدی - رضا شریعتی نسب - کاظم علیشاهی - سامان قهقه زاده

A Fault-Tolerant Strategy for Load Non-Interrupted Power Supply in CHB Converter Based on Modified Level Shift PWM

Farzaneh Aslani-Gaznag - Armin Panahi - Yousef Neyshabouri

Atrial Fibrillation (AF) Detection Using Deep Learning with GAN-based Data Augmentation

Amirhossein Akhoondkazemi - Arash Vashagh - Sayed Jalal Zahabi - Davood Shafie

کنترل تطبیقی ‏مبتنی بر سطح لغزش کوادراتور با در نظر گرفتن تأخیر در ورودی

الهه سبزیان - مرضیه کمالی - مجدالدین نجفی - مریم ذکری

ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 40.4.2