کنفرانس مهندسی برق ایران

صفحه اصلی / سی امین کنفرانس بین المللی مهندسی برق

Design and Simulation of a Novel High Sensitive MEMS Microphone Based On a Spring-Supported Circular Diaphragm

نویسندگان :

Mehdi Pazhooh¹ Ebrahim Abbaspour-Sani²

1- دانشگاه ارومیه 2- دانشگاه ارومیه

کلمات کلیدی :

Capacitive Microphone،MEMS،Spring-Supported Diaphragm،Microphone Modeling،Lumped-element Equivalent Circuit

چکیده :

In this paper, we presented a novel single-chip MEMS capacitive microphone with a spring-supported circular diaphragm. Surface micromachining and backside etching techniques were used to create a flexible diaphragm and a rigid single-crystal backplate for the capacitive microphone. The structure has a diaphragm with a thickness of 2 µm, a diaphragm radius of 400 µm, and an air gap of 2 µm. The slots are made on the diaphragm to reduce the air damping and improve the sensitivity by reducing the mechanical stiffness of the diaphragm. We designed and optimized the structure parameters using electrostatic-mechanical coupling finite element analysis (FEA). The sensitivity and frequency response of the microphone was investigated using a lumped-element model. The proposed microphone’s sensitivity is -29.5 dBv/Pa under 3 V dc bias. The proper design of the perforated backplate results in a bandwidth of nearly 27 kHz. Considering the acoustic-thermal noise, SNR is predicted to be 61.5 dB.

لیست مقالات

لیست مقالات بایگانی شده

Robust Wireless Power Transfer by Self-Oscillating Controlled Inverter and Double-D Pads

Alireza Eikani - Mohammad Amirkhani - Hossein Jafari - Hesamodin Abdoli - Sadegh Vaez-Zadeh - Ghasem Rezazadeh

Automatic Classification of Parkinson’s Disease Using Best Parameters of Forward and Backward Walking

Atiye Riasi - Mehdi Delrobaei

تخمین غلظت ید و زینان در یک نیروگاه هسته‌ای با استفاده از فیلتر کالمن بی‌رد تحت شرایط مختلف توان راکتور

حسین زحمتکش - حسین الیاسی

Dynamic Gait Analysis Using Hybrid Neural Networks: Online classification and Prediction of Locomotion Modes

Samira Dehghanian - Hamed Jalaly Bidgoly

رمزنگاری نوین صدا با استفاده از نظریه آشوب و عملگرهای ژنتیک در سامانه‌های VOIP

علی خرمی - جعفر شرفخانی

FGM Copula based Analysis of Outage Probability for Wireless Three-User Multiple Access Channel with Correlated Channel Coefficients

Mona Sadat Mohsenzadeh - Ghosheh Abed Hodtani

Switched Robust Model Predictive Based Controller for UAV Swarm System

Erfan Nejabat - Amirhossein Nikoofard

Adaptive dynamic programming for kinematic control of 3 interconnected wheeled mobile robots

Aliakbar Ghasemzadeh - Roya Amjadifard - Ali Keymasi Khalaji

برنامه ریزی توسعه شبکه های انتقال از دیدگاه شرکت های برق منطقه ای برای حداکثر سازی درآمد حاصل از ترانزیت برق

وحید مظفری - رضا نوروزیان - امیر باقری

Proposed Small Signal Dynamic Model for a Grid-Connected Battery Storage System

Zahra Moradi- Shahrbabak

بیشتر

ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 42.5.3