0% Complete
صفحه اصلی
/
بیست و نهمین کنفرانس مهندسی برق ایران
Design of a Controllable and State-observable MEMS Nonlinear Resonator Based on the Awl-shaped Serpentine Spring
نویسندگان :
Ehsan Ranjbar
1
Amirabolfazl Suratgar
2
1- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
2- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
کلمات کلیدی :
MEMS resonator, Nonlinear, Schematic design, Serpentine, Awl-shaped
چکیده :
The article addresses schematic design, fabrication, and modeling of a nonlinear micro resonator for MEMS applications. It exploits a nonlinear suspension system for a proof mass which shows nonlinear stiffness characteristics. The MEMS resonator is designed in such a way that the states of proof mass displacement and velocity are at the access via the novel embedded electro mechanical substructures of the micro resonator and the proposed electronic circuits as well, for control purposes. This feature is obtained while the resonator is equipped with a symmetric electrostatic actuator alongside the differential capacitance detection mechanism. The nonlinear properties of the suspension spring, which is the major source of nonlinear resonance, are demonstrated via simulation. Ultimately, the article theoretically puts forth the stages of the fabrication process in details.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
راهبرد بهینه خرده فروش در شبکه توزیع برق با در نظر گرفتن اثر پاسخ گویی بار
امیرحسین مدبری فر - حبیب رجبی مشهدی
A Non-Isolated Common Ground Dual-Input DC-DC Converter with a High Voltage Gain for Photovoltaic Power Generation Systems
Hamed Abdi - Naghi Rostami - Ebrahim Babaei
Non-homogeneous interference suppression in OFDM array radars using direct data domain approach
Sima Shariatmadari
امکان استفاده از پلی آنیلین دوبعدیC3N به عنوان آشکار سازِ گاز استالدهیدِ بازدم در دستگاه های تشخیصِ غیر تهاجمیِ سرطان ریه: مطالعه اصل اولیه
محمد حسین امیدواری - حامد مهدوی نژاد - رزا صفایی اسدآبادی - محمدحسین شیخی
Goodbye Bitcoin: A general framework for migrating to quantum-secure cryptocurrencies
Saeed Banaeian Far - Azadeh Imani Rad - Maryam Rajabzadeh Asaar
Analyzing Large-scale PV Plant Controllers by Technical Performance Indices using MCS Method
Hooman Nasrazadani - Alireza Sedighi - Hossein Seifi
بررسی عملکرد تقویت کننده فیبری پالسی نانوثانیه اربیوم ایتربیوم با نرخ تکرار پایین
احسان حمیدنژاد - اصغر غلامی - محمدجواد حکمت
Inversion Coefficient as a Key Design Parameter in MOS Device Performance
Gholamreza Khademevatan - Ali Jalali
A 6-12 GHz Wideband RF PIN Diodes based Limiter with 1-dB Insertion Loss and 30-dB Limitation Rate
Sina Rezaeeahvanouee - Javad Ghalibafan
A new double rotor switched reluctance motor aiming at average torque improvement
Reza Rezaei - Seyed Reza Mousavi Aghdam
بیشتر
ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 41.7.4