0% Complete
صفحه اصلی
/
بیست و نهمین کنفرانس مهندسی برق ایران
Design of a Controllable and State-observable MEMS Nonlinear Resonator Based on the Awl-shaped Serpentine Spring
نویسندگان :
Ehsan Ranjbar
1
Amirabolfazl Suratgar
2
1- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
2- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
کلمات کلیدی :
MEMS resonator, Nonlinear, Schematic design, Serpentine, Awl-shaped
چکیده :
The article addresses schematic design, fabrication, and modeling of a nonlinear micro resonator for MEMS applications. It exploits a nonlinear suspension system for a proof mass which shows nonlinear stiffness characteristics. The MEMS resonator is designed in such a way that the states of proof mass displacement and velocity are at the access via the novel embedded electro mechanical substructures of the micro resonator and the proposed electronic circuits as well, for control purposes. This feature is obtained while the resonator is equipped with a symmetric electrostatic actuator alongside the differential capacitance detection mechanism. The nonlinear properties of the suspension spring, which is the major source of nonlinear resonance, are demonstrated via simulation. Ultimately, the article theoretically puts forth the stages of the fabrication process in details.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
Entanglement-Assisted Classical-Quantum Multiple Access Wiretap Channel: One-shot Achievable Rate Region
Hadi Aghaee - Bahareh Akhbari
Stability Improvement in Weak Grid-Tied DFIG-based WECS Employing Adaptive Virtual Impedance Strategy Based on Machine Learning Considering the LVRT Constraint
Mohammad Hossein Shaabani - Behrooz Vahidi - Navid Dehghan
RDOD: A Robust Distance-based Technique for Outlier Detection
Reza Heydari gharaei - Hossein Nezamabadi-pour
یک روش موازی برای تخمین حالت سریع در سیستم های قدرت با ابعاد بزرگ با استفاده از تکنیک جداسازی گراف
بهنام کریم سرمدی - احمد صالحی دوبخشری
Finite-Time Bipartite Time-Varying Formation tracking for Heterogeneous Nonlinear Multi-Agent Systems
Mohammad Reza Mehrabi Koushki - Javad Askari - Marzieh Kamali
طراحی تقویت کننده توان موج میلی متری پهن باند در فناوری سی ماس برای کاربردهای نسل پنجم
سید محمد مهدی جعفری - صمد شیخایی
Transfer Learning Based Method for Human Activity Recognition
Saeedeh Zebhi - Smt Almodarresi - Vahid Abootalebi
Impedance Evaluation of Plasmonic Nano Dipole Antennas Based on Guided TE Mode
Daniyal Khosh Maram - Hanieh Talati Aghdam - Hamed Abnavi
Optimal Probability Placement of the Charge Station of Electric Vehicles in a Distributed Power Network Containing the DG using the Queuing Theory
Mohammadreza Mousavi khademi - Ebrahim Kazemi - Mehdi Zareian Jahromi
بهبود تابآوری شبکههای توزیع سنتی در مرحله پیش از حادثه به کمک بازآرایی با الگوریتم ارگانیسم همزیستی
حسین بایسته - رضا شیردره - محمد احمدوند
ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 40.4.2