0% Complete
صفحه اصلی
/
بیست و نهمین کنفرانس مهندسی برق ایران
Design of a Controllable and State-observable MEMS Nonlinear Resonator Based on the Awl-shaped Serpentine Spring
نویسندگان :
Ehsan Ranjbar
1
Amirabolfazl Suratgar
2
1- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
2- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
کلمات کلیدی :
MEMS resonator, Nonlinear, Schematic design, Serpentine, Awl-shaped
چکیده :
The article addresses schematic design, fabrication, and modeling of a nonlinear micro resonator for MEMS applications. It exploits a nonlinear suspension system for a proof mass which shows nonlinear stiffness characteristics. The MEMS resonator is designed in such a way that the states of proof mass displacement and velocity are at the access via the novel embedded electro mechanical substructures of the micro resonator and the proposed electronic circuits as well, for control purposes. This feature is obtained while the resonator is equipped with a symmetric electrostatic actuator alongside the differential capacitance detection mechanism. The nonlinear properties of the suspension spring, which is the major source of nonlinear resonance, are demonstrated via simulation. Ultimately, the article theoretically puts forth the stages of the fabrication process in details.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
A Compact Microstrip Combline Filter for Microwave S-band
Sina Rezaee - Mohammad Memarian
Optimal Receiver Placement in Distributed Passive Sensor Networks: A DRL Approach
Hossein Nikaein - Mohammad Reza Jabbari - Maedeh Kadkhodaie Elyaderani - Saeed Gazor
Identifying Singular 2-D Systems Using 1-D Methods
Masoud Shafiee - Kamyar Azarakhsh
An Enhanced SLAM Method Using ICP Algorithm for Autonomous Mobile Robots Navigation
Hasan Enami Eraghi - Mohammad Reza Taban - Sayed Farzad Bahreinian - Mohammad Reza Jabbari
طراحی بهینه چند هدفی کنترل کننده مدلغزشی مرتبه کسری برای سیستم کوادروتور
ابوالفضل انصاریان - جواد عسکری - مرضیه کمالی - محمدجواد محمودآبادی
TID-based PSS2B to Overcome LFO Issue in Multi-machine Power Systems
Javad Morsali
Non-contact Radar Technology and Machine Learning for Automated Sleep Apnea-Hypopnea Syndrome Detection
ُSaman Faridsoltani - Mohaddeseh Sadeghi - Zahra Rahmani - Somayyeh Chamaani
Active and Passive Beamforming for Secure Wireless Communication via Star-RIS under imperfect CSI
Seyedeh Reyhane Shahcheragh - Kamal Mohamed-pour
تولید پایگاه داده مصنوعی برای مقره های الکتریکی از روی دادههای تصویری با استفاده از شبکههای مولد تخاصمی
امیرحسین جراره - ابولفضل منافی - سعید شمقدری
پیشبینی مسیر حرکت انسانها در محیطهای پر ازدحام
امین منافی سلطان احمدی - سمانه حسینی سمنانی
بیشتر
ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 43.6.0
