0% Complete
صفحه اصلی
/
بیست و نهمین کنفرانس مهندسی برق ایران
Design of a Controllable and State-observable MEMS Nonlinear Resonator Based on the Awl-shaped Serpentine Spring
نویسندگان :
Ehsan Ranjbar
1
Amirabolfazl Suratgar
2
1- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
2- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
کلمات کلیدی :
MEMS resonator, Nonlinear, Schematic design, Serpentine, Awl-shaped
چکیده :
The article addresses schematic design, fabrication, and modeling of a nonlinear micro resonator for MEMS applications. It exploits a nonlinear suspension system for a proof mass which shows nonlinear stiffness characteristics. The MEMS resonator is designed in such a way that the states of proof mass displacement and velocity are at the access via the novel embedded electro mechanical substructures of the micro resonator and the proposed electronic circuits as well, for control purposes. This feature is obtained while the resonator is equipped with a symmetric electrostatic actuator alongside the differential capacitance detection mechanism. The nonlinear properties of the suspension spring, which is the major source of nonlinear resonance, are demonstrated via simulation. Ultimately, the article theoretically puts forth the stages of the fabrication process in details.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
Ultra-Low Power Current-Mode ASK Demodulator for Contactless Smart Cards
Somayeh Yousefi - Mohsen Jalali
طراحی و شبیه سازی شتاب سنج خازنی MEMS برای استفاده در سمعک های تمام کاشت
میلاد کریمی پور - مهدیه مهران
ارائه مبدل DC-DC غیر ایزوله هیبریدی بهره ولتاژ بالا با سوئیچ فعال سلفی
حسن زارعین - مجتبی حیدری - سیدمحمد دهقان دهنوی
پیشبینی توان تولیدی توربینهای بادی با روشهای حافظه کوتاهمدت طولانی و ماشین تقویتکنندهی گرادیان سبک
سید متین ملکوتی - مهدی منصوری - امیر ریخته گرغیاثی
A New Coupled Inductor based Non-Isolated Dual Input Soft-Switching High Step-up DC-DC Converter
Amirreza Razavi Majarshin - Ebrahim Babaei - Mehran Sabahi
Reinforcement Learning based Joint Resource Allocation and User Fairness Optimization in mmWave-NOMA HetNets
Sima Sobhi-Givi - Mahdi Nouri - Mahrokh G. Shayesteh - Hashem Kalbkhani - Zhiguo Ding
طراحی و ساخت لیدار پالسی برای خودرو خودران با حذف موثر پدیده تداخل
سبحان دبیدیان - صدرا تفقدی جامی - زهرا کاوه وش - علی فتوت احمدی
True Random Number Generator Relying on Multiple Entropy Source and Triple Oscillator for Cryptography Purposes
Somayeh Gholam Mehraban - Mohsen Jalali - Mostafa Azadbakht
جایابی بهینه نیروگاه های مقیاس کوچک و منابع تولید توان راکتیو بمنظور افزایش پایداری ولتاژ شبکه انتقال و فوق توزیع خوزستان
مسعود بشیرپور - کیومرث زمانی - محدثه مولایی - امید سروری
A Closed RF Wave-Applicator to Study the Biological Effects of Mobile Communication Systems
SeyedMilad Miri - Karim Mohammadpour-Aghdam
بیشتر
ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 43.6.0