کنفرانس مهندسی برق ایران

صفحه اصلی / بیست و نهمین کنفرانس مهندسی برق ایران

Design of a Controllable and State-observable MEMS Nonlinear Resonator Based on the Awl-shaped Serpentine Spring

نویسندگان :

Ehsan Ranjbar¹ Amirabolfazl Suratgar²

1- دانشگاه صنعتی امیرکبیر 2- دانشگاه صنعتی امیرکبیر

کلمات کلیدی :

MEMS resonator, Nonlinear, Schematic design, Serpentine, Awl-shaped

چکیده :

The article addresses schematic design, fabrication, and modeling of a nonlinear micro resonator for MEMS applications. It exploits a nonlinear suspension system for a proof mass which shows nonlinear stiffness characteristics. The MEMS resonator is designed in such a way that the states of proof mass displacement and velocity are at the access via the novel embedded electro mechanical substructures of the micro resonator and the proposed electronic circuits as well, for control purposes. This feature is obtained while the resonator is equipped with a symmetric electrostatic actuator alongside the differential capacitance detection mechanism. The nonlinear properties of the suspension spring, which is the major source of nonlinear resonance, are demonstrated via simulation. Ultimately, the article theoretically puts forth the stages of the fabrication process in details.

لیست مقالات

لیست مقالات بایگانی شده

E-RESO: An Enhanced Time Redundancy-based Error Detection Approach for Arithmetic Operations

Sina Shahoveisi - Athena Abdi

Deep SqueezeNet Based Technique for Detection of High Impedance Arcing Faults in Electric Power Distribution Networks

Amin Mohammadi - Mohsen Jannati - Mohammadreza Shams

Study of Plasmonic Perfect Absorber Using Three Dimensional Silver Double Triangle-Shaped Nanoparticles

Mohammad Reza Rakhshani

Weighted Fuzzy-Based PSNR for Watermark Visual Quality Evaluation

Maedeh Jamali - Nader Karimi - Shadrokh Samavi

گیمیفیکیشن یک رویکرد نوآورانه جهت کاهش مصرف برق دربخش خانگی

حمید حقرجو - مرضیه زارع زاده کللی - مهدی اشکپور مطلق

Optimization and Analysis of Transformer Hot Spot Temperature Under Harmonic Conditions with Different Windings

Mehran Nemati - Hamed Karimi - Alireza Siadatan - Maryam Sepehrinour

Application of Floquet theory in three-body problem: Periodic attitude motion

Ehsan Abbasali - Amirreza Kosari - Majid Bakhtiari

ساخت حسگر مقاومتی بخار اتانول مبتنی بر هتروساختار باریم تیتانات / اکسید روی آلاییده با نانوذرات نقره

محسن طاهری پور - نوید یثربی - شیرین نصراصفهانی - محمد حسین شیخی

T-type L-2L De-Embedding Method for On-Wafer T-model Transmission Line Network

Milad Seyedi - Nasser Masoumi - Samad Sheikhaei

بازشناسی مقاوم زمانی – مکانی انسان در یک سیستم نظارتی بر اساس شبکه GAN

آزاده سادات موسوی - شهریار برادران شکوهی

بیشتر

ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 42.8.0