کنفرانس مهندسی برق ایران

صفحه اصلی / بیست و نهمین کنفرانس مهندسی برق ایران

Design of a Controllable and State-observable MEMS Nonlinear Resonator Based on the Awl-shaped Serpentine Spring

نویسندگان :

Ehsan Ranjbar¹ Amirabolfazl Suratgar²

1- دانشگاه صنعتی امیرکبیر 2- دانشگاه صنعتی امیرکبیر

کلمات کلیدی :

MEMS resonator, Nonlinear, Schematic design, Serpentine, Awl-shaped

چکیده :

The article addresses schematic design, fabrication, and modeling of a nonlinear micro resonator for MEMS applications. It exploits a nonlinear suspension system for a proof mass which shows nonlinear stiffness characteristics. The MEMS resonator is designed in such a way that the states of proof mass displacement and velocity are at the access via the novel embedded electro mechanical substructures of the micro resonator and the proposed electronic circuits as well, for control purposes. This feature is obtained while the resonator is equipped with a symmetric electrostatic actuator alongside the differential capacitance detection mechanism. The nonlinear properties of the suspension spring, which is the major source of nonlinear resonance, are demonstrated via simulation. Ultimately, the article theoretically puts forth the stages of the fabrication process in details.

لیست مقالات

لیست مقالات بایگانی شده

Mountain Gazelle Optimized PID Controller for a MIMO System with External Disturbance

Siavash Shirali - Hamoun Maleki - Hadi Delavari

Design and Implementation of CAN Bus Monitoring Module for Lithium Battery Management System

Shakila Kazempourdizaji - Amir Mohammad Moazami Goudarzi - Majid Shalchian

Bit error rate improvement in optical camera communication based on RGB LED

Farzaneh Norouzi - Saeed Olyaee - Mehran Mehraban Rad

بهبود کیفیت تصاویر حاصل از الگوریتم راداری DMAS با تخمین بهینه گذردهی الکتریکی در تصویربرداری مایکروویو برای تشخیص سرطان سینه

فاطمه سادات حسینی راد - امیررضا عطاری - سیدمحمدسعید ماجدی

Generation of orbital angular momentum modes via SSPP leaky-wave antenna based on holography technique

Sajjad Zohrevand - Nader Komjani

Superimposed Channel Estimation in OTFS Modulation Using Compressive Sensing

Omid Abbassi Aghda - Mohammad Javad Omidi - Hamid Saeedi-sourck

مدیریت انرژی یک شبکه هوشمند با ساختار هولاکراسی انرژی شامل مصرف‌کنندگان خودتولید بر اساس حق انتخاب مبتنی بر ترجیحات اقتصادی، زیست‌محیطی و اجتماعی

پیمان افضلی - مسعود رشیدی نژاد - امیر عبداللهی - محمدرضا صالحی زاده - حسین فرهمند

An Analysis of Nash Equilibrium Learning through Myopic Decision-making in Incomplete Information Double Sided Auction Games within Markets

Hesam Farzaneh - Parsa Zholideh

Multi-physics electromagnetic-mechanical analysis of a high-speed switched reluctance motor for vacuum cleaner application

Nasrin Majlesi - Morteza Saghaian-Nejad - Amir Rashidi

Using Convolutional Neural Networks for Sudden Cardiac Death prediction

Sara Tavazo - Farideh Ebrahimi

بیشتر

ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 42.3.2