کنفرانس مهندسی برق ایران

صفحه اصلی / بیست و نهمین کنفرانس مهندسی برق ایران

Design of a Controllable and State-observable MEMS Nonlinear Resonator Based on the Awl-shaped Serpentine Spring

نویسندگان :

Ehsan Ranjbar¹ Amirabolfazl Suratgar²

1- دانشگاه صنعتی امیرکبیر 2- دانشگاه صنعتی امیرکبیر

کلمات کلیدی :

MEMS resonator, Nonlinear, Schematic design, Serpentine, Awl-shaped

چکیده :

The article addresses schematic design, fabrication, and modeling of a nonlinear micro resonator for MEMS applications. It exploits a nonlinear suspension system for a proof mass which shows nonlinear stiffness characteristics. The MEMS resonator is designed in such a way that the states of proof mass displacement and velocity are at the access via the novel embedded electro mechanical substructures of the micro resonator and the proposed electronic circuits as well, for control purposes. This feature is obtained while the resonator is equipped with a symmetric electrostatic actuator alongside the differential capacitance detection mechanism. The nonlinear properties of the suspension spring, which is the major source of nonlinear resonance, are demonstrated via simulation. Ultimately, the article theoretically puts forth the stages of the fabrication process in details.

لیست مقالات

لیست مقالات بایگانی شده

A New Data Delivery Approach for Blockchain based on NDN

Shah Jahan Sirat - Sadegh Dorri Nogoorani - Behzad Akbari

Denoising of the Diffusion Tensor Imaging Data Using k-Space Redundancy

Khashayar Esmaeilzadeh - Farzaneh Keyvanfard - Abbas Nasiraei Moghaddam

Optimized ANFIS-based Control Design Using Genetic Algorithm to Obtain the Vaccination and Isolation Rates for the COVID-19

Zohreh Abbasi - Mohsen Shafieirad - Amir Hossein Amiri Mehra - Iman Zamani

Multi-physics electromagnetic-mechanical analysis of a high-speed switched reluctance motor for vacuum cleaner application

Nasrin Majlesi - Morteza Saghaian-Nejad - Amir Rashidi

Primary-Side Nonlinear Model Predictive Control for Dynamic Wireless Power Transfer System in Electric Vehicles

Kioumars Shahriari - Salar Sadeghian - Sahand Fardadidokht Fooman - Adib Abrishamifar

Physiotherapy Algorithms on FUM-Physio Robot

Keyvan Tayaranian Marvian - Amir Hossein Nazari - Seyed Mohammad Tahamipour Zarandi - Mohammad Reza Akbarzadeh totonchi - Zahra Soltani - Alireza Akbarzadeh totonchi

بررسی روابط توان دوم برای اعداد باینری با تمرکز بر طراحی و پیاده سازی مدار برای ورودی 4 بیت مثبت و منفی در پروسه استاندارد 0.18 µm CMOS

احمد احمدزاده - امیر فتحی - بهبود مشعوفی

بررسی تاثیر کنترل کننده‌های سیستم انتقال جریان مستقیم مبتنی بر مبدلهای منبع ولتاژ با اجزای شبکه قدرت با استفاده از روش تحلیل مدال خطی

علی ضیائی - رضا قاضی - روح الامین زینلی داورانی

بررسی و تحلیل تقابل تلفات و پروفیل ولتاژ به کمک الگوریتم ژنتیک چند هدفه در سیستم های قدرت در حضور سیستم های انتقال قدرت انعطاف پذیر

سجاد احمدنیا - حبیب رجبی مشهدی

A Vibration Measurement Device for Condition Monitoring of Medium-Voltage Circuit Breakers

Aref Nikraftar Khameneh - Mohammad Hamed Samimi

بیشتر