کنفرانس مهندسی برق ایران

صفحه اصلی / سی و یکمین کنفرانس بین المللی مهندسی برق

Design and simulation of a surface acoustic wave based micro pressure sensor

نویسندگان :

Sohrab Ghasemi Bisheh¹ Mohammad Tahmasebipour² Fatemeh Anousheh³

1- دانشگاه تهران 2- دانشگاه تهران 3- دانشگاه تهران

کلمات کلیدی :

Micro pressure sensor،Simulation،Surface Acoustic Wave sensors،Microelectromechanical systems

چکیده :

Among electromechanical systems, sensors based on surface acoustic waves (SAW) are of particular importance due to their fast response, high sensitivity, compact structure, small size, low cost of mass production as well as their wide range of applications. This paper presents design simulation and optimization of a SAW based micro pressure sensor using finite element method. Using the mathematical model of Delta function and various analysis like time-dependent analysis and frequency-domain analysis, several methods for calculating the central frequency of this kind of sensors have been presented. Determination of central frequency is then followed by calculation of changes in surface acoustic wave velocities for applied pressures. This lead to obtain the sensitivity of microsensor. By optimization of the affecting parameters, sensitivity of this sensor has been improved up to -101 ppm/ bar.

لیست مقالات

لیست مقالات بایگانی شده

An Event-Triggered Robust Data-Driven Predictive Control with Transient Response Improvement

Amir Mehrnoosh - Mohammad Haeri

Proposed Small Signal Dynamic Model for a Grid-Connected Battery Storage System

Zahra Moradi- Shahrbabak

Classification of Schizophrenia Patients by Nonlinear Analysis of EEG

Amirhossein Tajik - Hoda Jalalkamali - Hossein Nezamabadipour

The Conduction Mechanism in Micron-Thick ZnO Layers Grown on Si Substrates by Spray Pyrolysis

Mohsen Gharesi - Alireza Karimpour - Reza Razmand - Faramarz Hossein-Babaei

Low-Leakage 6T SRAM Cell for In-Memory Computing with High Stability

Deniz Najafi - Behzad Ebrahimi

Design of Optimal Iterative Learning Control AutoPilot for Landing Fixed-Wing Aircraft

Ali Raddanipour - Masoud Shafiee

راهبرد بهینه خرده فروش در شبکه توزیع برق با در نظر گرفتن اثر پاسخ گویی بار

امیرحسین مدبری فر - حبیب رجبی مشهدی

پیش بینی قیمت انرژی الکتریکی در بازار روز بعد با استفاده از شبکه عصبی مصنوعی تعمیم یافته و با در نظر گرفتن محدودیت سوخت رسانی

حسین صابر - سعید محسنی - رضا پورآقابابا - مصطفی یحیی آبادی

Joint Fairness, Fragmentation, and Physical Layer Impairments Aware Routing, Spectrum and Modulation Level Allocation in Elastic Optical Networks

Hassan Khanahmadzadeh - Arash Rezaee - Lotfollah Beygi

مدل سازی سینگولار گسسته زمان یک سیستم الکتریکی و کنترل آن به روش الگوریتم یادگیری تکرارشونده

علی غلامی بنادکوکی - طاهره بینازاده

بیشتر

ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 42.0.4