لطفا منتظر بمانید ...
0% Complete
صفحه اصلی
/
سی و چهارمین کنفرانس بین المللی مهندسی برق
Development of an Air Bearing-Based Linear Nanopositioning Stage
نویسندگان :
Amirhossein Ghazanfarian
1
Mahdi Robati
2
Ali Sadighi
3
1- University of Tehran
2- University of Tehran
3- University of Tehran
کلمات کلیدی :
nano positioning،precision control،air bearings،Lorentz actuator،direct drive،linear motion،precision control،trajectory tracking
چکیده :
In this paper, design and control of a high-precision linear nano positioning stage are presented. The proposed stage employs a direct-drive Lorentz actuator, eliminating the need for intermediate transmission mechanisms. Finite element analysis is conducted to validate the analytical electromagnetic model. In addition, custom-designed air bearing system provides frictionless motion, which is essential for eliminating the inherently-nonlinear and unpredictable effects of friction. Current and position control loops are considered for precise motion control. Experimental results demonstrate a trajectory tracking error of ±80 nm, confirming the effectiveness of the proposed solution.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
Unconsciousness Classification Using Discriminative Dictionary Pair Learning
Samaneh Esmaeili - Hamid Behroozi - Babak Hossein Khalaj
طراحی لایه Max-Pooling نوری مجتمع مبتنی بر Ge2Sb2Te5 برای شبکه های عصبی پیچشی نوری
سمانه امیری - دکتر مهدی میری
An Accelerated Algorithm for Minimum-Time Multi-Agent Motion Planning
الهه نادی - Maryam Babazadeh
پیاده سازی و بهبود عملکرد شبکه اینترنت اشیا سلولی بر بستر پروژه منبع باز OAI
سیدمحمدرضا طباطبایی نژاد - حسین خالقی بیزکی - سجاد پورسجادی
Investigating Validity and Reliability of The Features Extracted by a 5R Vertical Robot for Arm Motion and Learning Assessment
Sarvenaz Bourbour - Fariba Bahrami Boodelalou - Ghorban Taghizadeh
An Investigation of Hardware Implementation of Multi-Valued Logic Using Different Nanodevices
Abdolah Amirany - Kian Jafari - Mohammad Hossein Moaiyeri
Tunable Band gap of Beta Zeolite by Adjusting the Si/Al Ratio
Reza Goldoust - Saeideh Rahbarpour
حسگر غیرتهاجمی تشخیص قندخون با استفاده از تکنیک مایکروویو بر مبنای تشدید فرکانسی
نازنین افشاری - سید محمد هاشمی - فاطمه گران قراخیلی
نقش پوشش گیاهی عمودی به همراه اینترنت اشیا در کاهش آلودگی شهری
فرانک صید جانی - سبا کرمی میرعزیزی - هادی اشعریون
Fusion of Multi-Level CNN With LBP Features For Facial Emotion Recognition
Ehsan Bahmanabady - Maryam Imani - Hassan Ghassemian
بیشتر
ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 44.7.2
