لطفا منتظر بمانید ...
0% Complete
صفحه اصلی
/
سی و چهارمین کنفرانس بین المللی مهندسی برق
Development of an Air Bearing-Based Linear Nanopositioning Stage
نویسندگان :
Amirhossein Ghazanfarian
1
Mahdi Robati
2
Ali Sadighi
3
1- University of Tehran
2- University of Tehran
3- University of Tehran
کلمات کلیدی :
nano positioning،precision control،air bearings،Lorentz actuator،direct drive،linear motion،precision control،trajectory tracking
چکیده :
In this paper, design and control of a high-precision linear nano positioning stage are presented. The proposed stage employs a direct-drive Lorentz actuator, eliminating the need for intermediate transmission mechanisms. Finite element analysis is conducted to validate the analytical electromagnetic model. In addition, custom-designed air bearing system provides frictionless motion, which is essential for eliminating the inherently-nonlinear and unpredictable effects of friction. Current and position control loops are considered for precise motion control. Experimental results demonstrate a trajectory tracking error of ±80 nm, confirming the effectiveness of the proposed solution.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
CEU-Net: A Connected EfficientUNet with ASPP for Mammographic Lesion Segmentation
Fatemeh Jafari - Saeed Meshgini - Reza Afrouzian
اینورتر چندسطحی منبع ولتاژ جدید با هدف کاهش سوئیچ برای سطوح بالا
علی سیفی - سید حسین حسینی - مهرداد طرقدار حق - مهران صباحی - مجید حسین پور
طراحی کنترل‌کننده‌ی جدول‌بندی بهره‌ی پس‌خورد خروجی کلیدزن مقاوم برای سیستم‌های پارامتر متغیر خطی نامعین چندوجهی پیوسته-زمان
رضا یاوری - سعید شمقدری - آرش صادق‌زاده
Low-cost dielectrophoresis-based microfluidic chip for label-free particle separation with 3D electrodes
Fatemeh Esmaeili - Zeynab Alipour - Mehdi Fardmanesh
Determining the Position of the Electric Arc Tool Tip in CO₂ Welding Using Arc Sound Signal and Artificial Intelligence
Amin Farahani - Majid Sanaeepour - Maryam Momeni
Designing a Suitable Antenna and Simple Receiver for Detection of Partial Discharge in the UHF Band
Seyed Hossein Kasaei - Mohammad Hamed Samimi
Contextual and Spectral Feature Fusion Using Local Binary Graph for Hyperspectral Images Classification
Zahra Farmahini Farahani - Hassan Ghassemian - Maryam Imani
مکان یابی اهداف در محیط مختلط دید مستقیم و غیر مستقیم مبتنی بر اندازه گیری های RSS و TOA با مدل احتمالاتی
محمدرضا شمسیان - فریدون بهنیا
Goodbye Bitcoin: A general framework for migrating to quantum-secure cryptocurrencies
Saeed Banaeian Far - Azadeh Imani Rad - Maryam Rajabzadeh Asaar
Seizure Suppression in a Neural Mass Model via Input-Output Feedback Linearization and Backstepping Control
Mahdi Moltamesi - Hasan Keshtkar
بیشتر
ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 44.7.2
