لطفا منتظر بمانید ...
0% Complete
صفحه اصلی
/
سی و چهارمین کنفرانس بین المللی مهندسی برق
Development of an Air Bearing-Based Linear Nanopositioning Stage
نویسندگان :
Amirhossein Ghazanfarian
1
Mahdi Robati
2
Ali Sadighi
3
1- University of Tehran
2- University of Tehran
3- University of Tehran
کلمات کلیدی :
nano positioning،precision control،air bearings،Lorentz actuator،direct drive،linear motion،precision control،trajectory tracking
چکیده :
In this paper, design and control of a high-precision linear nano positioning stage are presented. The proposed stage employs a direct-drive Lorentz actuator, eliminating the need for intermediate transmission mechanisms. Finite element analysis is conducted to validate the analytical electromagnetic model. In addition, custom-designed air bearing system provides frictionless motion, which is essential for eliminating the inherently-nonlinear and unpredictable effects of friction. Current and position control loops are considered for precise motion control. Experimental results demonstrate a trajectory tracking error of ±80 nm, confirming the effectiveness of the proposed solution.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
Constrained Adaptive Control of a Lower-Limb Rehabilitation Exoskeleton using Barrier Lyapunov Functions to Ensure Patient Safety
Mohammad Olyai - Ashkan Jelodar - Kevin Babakhanloo - Khalil Alipour - Bahram Tarvirdizadeh - Mohammad Ghamari
Photonic Crystal-based Plasmonic Biosensor with Low-cost and High-sensitivity Properties
Mahdieh Ahmadi Motlagh - Mahdieh Bozorgi - Mahmood Rafaei-Booket
استفاده از طیفنگاری مادون قرمز نزدیک کارکردی جهت بررسی اثر پشیمانی بر تصمیمگیری خودکنترلی
جاوید بکرانی - سید کمال الدین ستاره دان - عبدالحسین وهابی
A 5kW Bidirectional Isolated On-Board EV Battery Charger Using Hybrid PFC/Inverter
Amir Hossein Dabbagh - Hamed Arvani - Ebrahim Afjei
Design Of Observer-Based Nonlinear Controller For Tracking Maximum Power Point In The Solar Cell
Kobra Siahi - Mohammad Reza Arvan - Vahid Behnamgol - Mahdi Mosayebi
Non-Invasive Blood Pressure Estimation using Poincaré Plot Indices of Photoplethysmography Signals
Fatemeh Shoeibi - Esmaeil Najafiaghdam - Afshin Ebrahimi
طراحی بهینه ی آرایه ی تُنُک بی افزونگی با فاصله ی ناصحیح میان عناصر
سید محمد حسینی - محمود کریمی
Post-LZS Mantissa Truncation برای کاهش ترافیک در شتابدهندههای SC-CGRA
محمد وکیلی ازغندی - منصوره یوسفی راد - هادیشهریار شاهحسینی
Effective Service Restoration in Electrical Distribution Networks Using a Bi-Stage Algorithm
Qasem Asadi - Amir Amini - Hamid Falaghi - Maryam Ramezani
A Low-cost Waveguide Switch Using Glide-symmetric Holey Electromagnetic Band Gap Technology
Mohsen Shafeghati - Elham Sharifi moghaddam - Behzad Ahmadi
بیشتر
ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 44.7.2
